標(biāo)準(zhǔn)GaN外延生長(zhǎng)流程
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上傳人：ledth/整理 上傳時(shí)間： 2012-11-05 瀏覽次數(shù)： 196 |
大綱
㈠ 高溫除雜
㈡ 長(zhǎng)緩沖層
㈢ 退火
㈣ 長(zhǎng)GaN單晶
?、?/strong> 長(zhǎng)N型GaN
㈥ 長(zhǎng)多量子阱MQW
?、?/strong> 長(zhǎng)P型GaN
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