【新世紀(jì)LED網(wǎng)訊】愛思強股份有限公司日前宣布，由歐盟委員會提供資金的TECHNOTUBES(晶圓級碳納米管技術(shù))項目取得圓滿成功，并演示了新型自動化生長設(shè)備BM300T。

　　這個為期三年的項目旨在開發(fā)碳納米管的生長工藝、自動化設(shè)備、質(zhì)量控制/監(jiān)測和多種終端應(yīng)用。合作參與項目的成員包括劍橋大學(xué)(協(xié)調(diào)人)、蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院、丹麥理工大學(xué)、柏林理工大學(xué)、Fritz Haber 研究所、意大利國家研究理事會、飛利浦公司、泰雷茲集團、劍橋CMOS 傳感器公司、IMEC 和愛思強。

　　來自劍橋大學(xué)的項目協(xié)調(diào)人John Robertson教授評價說：“這是一個獨一無二的項目，集合了業(yè)界和科研界的世界一流機構(gòu)，從生長設(shè)備、材料制造到可用設(shè)備，打造出一條基于碳納米管的價值鏈。該項目研究成功的應(yīng)用領(lǐng)域主要包括連接器產(chǎn)品、導(dǎo)熱材料、醫(yī)療及安保X光光源、氣體探測器、生物探針、微流體技術(shù)和新型能源存儲裝置。衷心感謝歐盟委員會為此項目提供資金支持，令我們的研究得以順利開展。”

　　愛思強納米儀器(Nanoinstruments)部門主管Ken Teo博士補充說：“我們的職責(zé)就是制造用于沉積各種碳納米管結(jié)構(gòu)的設(shè)備，以滿足這些應(yīng)用領(lǐng)域的要求。最大的挑戰(zhàn)就是將多種生產(chǎn)工藝(單壁結(jié)構(gòu)、多壁結(jié)構(gòu)、支線垂直納米管等)整合到同一個平臺之中，為工業(yè)生產(chǎn)的合作伙伴提供所需的統(tǒng)一、穩(wěn)定、高度自動化的生產(chǎn)設(shè)備。我們所研發(fā)的BM 300T 系統(tǒng)成功滿足了上述標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合熱學(xué)和等離子沉積技術(shù)、前體活化技術(shù)和新型的晶圓裝載和加熱系統(tǒng)，令高通量的晶圓級碳納米管生產(chǎn)成為可能。”