中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在世界舞臺(tái)上已經(jīng)嶄露頭角，這是國(guó)家的關(guān)注支持以及中國(guó)微電子設(shè)備行業(yè)不斷進(jìn)取創(chuàng)新的結(jié)果，北方微電子就是中國(guó)微電子設(shè)備廠商中的佼佼者。由北方微電子研制生產(chǎn)的ELEDE™330作為我國(guó)首臺(tái)直接面向LED大生產(chǎn)線的ICP刻蝕設(shè)備在不久前實(shí)現(xiàn)了銷售，這既是北方微電子半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴(kuò)展，也標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)LED設(shè)備已得到主流生產(chǎn)線的認(rèn)可，有力推動(dòng)了高端LED設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。北方微電子總裁趙晉榮表示，希望此篇對(duì)話可以增強(qiáng)LED制造產(chǎn)業(yè)界對(duì)本土設(shè)備的信心，趙晉榮堅(jiān)信將來(lái)中國(guó)制造的設(shè)備一定會(huì)在LED領(lǐng)域占據(jù)主流地位。

　　國(guó)產(chǎn)設(shè)備一定會(huì)在LED產(chǎn)業(yè)占主流

　　高工LED：在LED領(lǐng)域核心生產(chǎn)設(shè)備方面，我國(guó)一直處于相對(duì)落后的局面，與國(guó)際主流設(shè)備相比，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在技術(shù)、品質(zhì)方面還存在差距，同時(shí)市場(chǎng)占有率較低，關(guān)鍵因素在哪?

　　趙晉榮：設(shè)備是工藝技術(shù)的物化，一代工藝技術(shù)，造就一代工藝設(shè)備。國(guó)產(chǎn)設(shè)備與國(guó)際主流設(shè)備的確存在差距，但就當(dāng)前來(lái)看，設(shè)備制造技術(shù)、質(zhì)量保證、可靠性、穩(wěn)定性方面與國(guó)外主流廠商差距已經(jīng)不大。隨著關(guān)鍵零部件進(jìn)口限制取消，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的可靠性也大幅提高，此外控制技術(shù)、軟件技術(shù)更有超越的能力和趨勢(shì)。造成目前國(guó)產(chǎn)設(shè)備占有率低的主要原因是中國(guó)在芯片制造工藝技術(shù)上還處于跟蹤和起步階段，還達(dá)不到世界領(lǐng)先，所以設(shè)備選型也以國(guó)外成熟的工藝和設(shè)備為主。隨著中國(guó)LED芯片工廠工藝技術(shù)的不斷成熟，對(duì)國(guó)外工藝技術(shù)的依賴會(huì)逐步降低，國(guó)產(chǎn)設(shè)備一定會(huì)漸漸成為主流。

　　高工LED：我國(guó)LED領(lǐng)域核心生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展現(xiàn)狀是什么樣?

　　趙晉榮：目前中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)剛剛興起，工藝技術(shù)與國(guó)際先進(jìn)水平還有相當(dāng)差距，技術(shù)以跟蹤為主，當(dāng)然設(shè)備選擇以國(guó)際主流成熟設(shè)備制造商為主。近年來(lái)隨著中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，已經(jīng)出現(xiàn)一大批很好的設(shè)備企業(yè)進(jìn)入該領(lǐng)域，包括MOCVD設(shè)備國(guó)內(nèi)也已有數(shù)家很有實(shí)力的設(shè)備公司、科研機(jī)構(gòu)以及芯片廠進(jìn)行研發(fā)，我相信一個(gè)行業(yè)、一項(xiàng)技術(shù)只要給予足夠的重視、廣泛的關(guān)注和支持，再通過(guò)堅(jiān)持不懈的努力，就一定會(huì)有進(jìn)展，成功只是時(shí)間問(wèn)題。

　　本土設(shè)備的優(yōu)勢(shì)在哪里

　　高工LED：本土設(shè)備還是有著不可忽視的優(yōu)勢(shì)，比如近距離接觸客戶、服務(wù)周到等，既然與國(guó)外主流設(shè)備的技術(shù)差距不是很大，選擇國(guó)產(chǎn)設(shè)備的客戶肯定會(huì)考慮國(guó)產(chǎn)設(shè)備的優(yōu)勢(shì)所在。

　　趙晉榮：首先，國(guó)產(chǎn)設(shè)備貼近客戶、服務(wù)快捷，本土設(shè)備廠商是隨叫隨到的。北方微電子將企業(yè)經(jīng)營(yíng)的落腳點(diǎn)設(shè)立為市場(chǎng)和客戶，讓每一名員工都本著為客戶著想的理念去處理問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)對(duì)客戶的“迅速、高效、有問(wèn)必應(yīng)”?，F(xiàn)今，“設(shè)備賣到哪里服務(wù)中心就開(kāi)到哪里，工程師就跟到哪里”已經(jīng)成為北方微電子服務(wù)的特色。

　　其次，面對(duì)設(shè)備使用中的一些技術(shù)問(wèn)題，國(guó)外的設(shè)備基本上是現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)工程師在解決，而國(guó)內(nèi)是產(chǎn)品的設(shè)計(jì)者和客戶見(jiàn)面，解決問(wèn)題的速度非常快。而且為客戶提供量身定做培訓(xùn)服務(wù)。

　　高工LED：貌似不起眼的零部件國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題是目前設(shè)備產(chǎn)業(yè)面臨的最大困惑之一，目前本土生產(chǎn)的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的核心幾乎都采用進(jìn)口的零部件。如何抓好基礎(chǔ)的基礎(chǔ)，即零部件產(chǎn)業(yè)，是多年來(lái)本土半導(dǎo)體設(shè)備公司發(fā)展的瓶頸之一。在產(chǎn)量無(wú)法與國(guó)際先進(jìn)水平相提并論的今天，國(guó)產(chǎn)零部件的價(jià)格實(shí)際比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手還要高。但國(guó)產(chǎn)設(shè)備銷售的價(jià)格卻必須比進(jìn)口設(shè)備低，這種狀況應(yīng)該怎么改變?

　　趙晉榮：零部件的質(zhì)量、交貨期、價(jià)格、服務(wù)水平的確是設(shè)備產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，也是一個(gè)國(guó)家和地區(qū)基礎(chǔ)工業(yè)水平和能力的標(biāo)志，但近年來(lái)中國(guó)零部件能力已經(jīng)有了非常大的進(jìn)步。在基礎(chǔ)零部件領(lǐng)域有了一批出色的外資、合資、民營(yíng)企業(yè)，他們很多已經(jīng)成為國(guó)外世界級(jí)設(shè)備企業(yè)的主流零部件供應(yīng)商，同時(shí)也成為中國(guó)本土設(shè)備企業(yè)的有力支持者。

　　此外，國(guó)際主流的零部件制造商也紛紛在中國(guó)設(shè)立制造工廠、技術(shù)開(kāi)發(fā)中心、維修服務(wù)中心，相比幾年以前在溝通和技術(shù)支持上已經(jīng)非常方便，這也給中國(guó)設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來(lái)很大的支持。

　　北方微電子以成為一家國(guó)際級(jí)的高端設(shè)備企業(yè)為目標(biāo)，追求的零部件供應(yīng)商必須是在質(zhì)量、價(jià)格、服務(wù)諸多方面都具備國(guó)際水準(zhǔn)。我們是在追求國(guó)產(chǎn)化率，但其宗旨是追求溝通的方便性、交貨的及時(shí)性、價(jià)格合理性和服務(wù)的長(zhǎng)久性。國(guó)外很多設(shè)備企業(yè)的零部件已經(jīng)有相當(dāng)數(shù)量在中國(guó)制造，我相信幾年以后零部件將不再成為制約中國(guó)設(shè)備業(yè)發(fā)展的瓶頸，反而成為中國(guó)裝備產(chǎn)業(yè)的優(yōu)勢(shì)。

　　高工LED：從產(chǎn)品開(kāi)發(fā)到成熟、再到市場(chǎng)認(rèn)可，通常需要幾年的時(shí)間，再加上市場(chǎng)會(huì)起起伏伏。單純依靠某個(gè)單一產(chǎn)品，企業(yè)的生存和發(fā)展會(huì)受到很大的制約。以北方微電子為例，國(guó)產(chǎn)設(shè)備業(yè)在發(fā)展中需要注意哪些問(wèn)題?

　　趙晉榮：半導(dǎo)體工藝裝備的確是一個(gè)非常復(fù)雜的系統(tǒng)，涉及機(jī)械、電子、化學(xué)、高頻、軟件、真空、自動(dòng)化、材料等領(lǐng)域，其高可靠性、安全性、穩(wěn)定性、維護(hù)性等要求與航空航天相當(dāng)，需要非常高的研發(fā)和制造管理水平，是門檻極高的行業(yè)。一個(gè)產(chǎn)品從研發(fā)到應(yīng)用的確要幾年時(shí)間。一個(gè)設(shè)備公司的生存需要多領(lǐng)域多產(chǎn)品支撐，所以北方微電子通過(guò)集成電路刻蝕機(jī)成功的經(jīng)驗(yàn)，輻射到太陽(yáng)能、LED、OLED等領(lǐng)域，但產(chǎn)品戰(zhàn)略只是三大類，刻蝕、CVD、PVD，因?yàn)檫@三種設(shè)備都是以等離子體技術(shù)、真空技術(shù)、材料科學(xué)、軟件工程為核心技術(shù)的裝備。只是應(yīng)用領(lǐng)域不同而已。

　　高效LED工藝研究及成套設(shè)備解決方案的提供商

　　高工LED：國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)經(jīng)歷了什么樣的發(fā)展階段•在不同的大環(huán)境影響下，北方微電子如何調(diào)整發(fā)展策略?

　　趙晉榮：60-70年代，2〞3〞4〞時(shí)，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基本全部采購(gòu)國(guó)產(chǎn)設(shè)備;80年代改革開(kāi)放時(shí)開(kāi)始引進(jìn)國(guó)外設(shè)備，國(guó)產(chǎn)設(shè)備受到嚴(yán)重沖擊，5〞6〞8〞12〞集成電路基本為引進(jìn)、引進(jìn)、再引進(jìn);90年代國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備主要應(yīng)用于電力電子器件(整流管和大功率電源模塊);進(jìn)入2003年后，隨著太陽(yáng)能電池片產(chǎn)業(yè)的急速擴(kuò)大，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入了一個(gè)大發(fā)展時(shí)代，擴(kuò)散、清洗、刻蝕、PECVD等國(guó)產(chǎn)設(shè)備每年銷售在幾十億元以上，設(shè)備的可靠性、穩(wěn)定性與國(guó)際主流水平相當(dāng)，也造就中國(guó)太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)進(jìn)入國(guó)際一流行列的有力支撐。同時(shí)，近年來(lái)，在8〞12〞集成電路主流工廠也已開(kāi)始安裝國(guó)產(chǎn)設(shè)備，如北方微電子的刻蝕機(jī)、七星電子的擴(kuò)散爐等，技術(shù)水平基本達(dá)到國(guó)際主流水平。當(dāng)然，這也與國(guó)家2003年后對(duì)集成電路設(shè)備業(yè)的大力支持是分不開(kāi)的，目前國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能及集成電路裝備的主流廠家七星電子、北方微電子、北京中科信、中電48所、中電45所、沈陽(yáng)芯源、上海微電子等都是國(guó)家重點(diǎn)支持單位，這些公司近幾年在太陽(yáng)能及集成電路產(chǎn)業(yè)也都取得了非常好的業(yè)績(jī)。

　　與太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)相似，相信通過(guò)幾年的努力，LED產(chǎn)業(yè)一定是國(guó)產(chǎn)設(shè)備占主流的行業(yè)。北方微電子看到了LED產(chǎn)業(yè)的前景，會(huì)加大投資力度，堅(jiān)持以工藝解決方案來(lái)贏得客戶的信任，以卓越的服務(wù)和技術(shù)支持、及時(shí)備品備件提供來(lái)取得市場(chǎng)份額。

　　高工LED：本土設(shè)備商在太陽(yáng)能、LED、平板顯示等領(lǐng)域嶄露頭角。北方微電子公司在100納米等離子刻蝕機(jī)成功銷往中芯、華虹、宏力后，又研制出LED等離子刻蝕機(jī)，ELEDE™330作為我國(guó)首臺(tái)直接面向LED生產(chǎn)線的刻蝕設(shè)備，這對(duì)北方微電子在LED芯片領(lǐng)域?qū)⑹菢?biāo)志性的事件。北方微電子未來(lái)在LED設(shè)備領(lǐng)域的規(guī)劃和定位是什么?

　　趙晉榮：北方微電子公司自2003年以來(lái)，通過(guò)以客戶需求為導(dǎo)向的自主創(chuàng)新率先實(shí)現(xiàn)了8英寸和12英寸高密度等離子刻蝕機(jī)在大生產(chǎn)線上的應(yīng)用，成為進(jìn)入中國(guó)8英寸、12英寸集成電路主流生產(chǎn)線的第一家國(guó)產(chǎn)設(shè)備制造商。

　　針對(duì)綠色能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，北方微電子在2008年初啟動(dòng)了平板式PECVD設(shè)備的開(kāi)發(fā)，力爭(zhēng)將半導(dǎo)體技術(shù)的先進(jìn)理念導(dǎo)入太陽(yáng)能電池制造設(shè)備領(lǐng)域，改變太陽(yáng)能電池高端設(shè)備不能中國(guó)制造的現(xiàn)狀。兩年時(shí)間自主開(kāi)發(fā)完成了大產(chǎn)能平板式PECVD設(shè)備，并成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)主流生產(chǎn)線。

　　鑒于LED與半導(dǎo)體技術(shù)的互通性，北方微電子充分發(fā)揮設(shè)備和工藝開(kāi)發(fā)優(yōu)勢(shì)，僅用了7個(gè)月的時(shí)間完成了ELEDETM330高密度等離子體刻蝕設(shè)備的開(kāi)發(fā)。作為我國(guó)首臺(tái)直接面向LED生產(chǎn)線的大產(chǎn)能刻蝕設(shè)備，該設(shè)備充分重視系統(tǒng)的工藝拓展性，可滿足藍(lán)寶石襯底圖形化刻蝕、GaN基外延層刻蝕等多種應(yīng)用，用集成電路工藝更為精準(zhǔn)的設(shè)計(jì)要求來(lái)實(shí)現(xiàn)LED領(lǐng)域更高性能的刻蝕需求，更大程度的滿足LED產(chǎn)業(yè)對(duì)干法刻蝕工藝的需要。目前該設(shè)備已完成生產(chǎn)線工藝驗(yàn)證，開(kāi)始芯片的批量生產(chǎn)。

　　隨著我國(guó)LED產(chǎn)業(yè)的不斷升溫，北方微電子將憑借已有完善的研發(fā)、制造基礎(chǔ)設(shè)施和先進(jìn)的管理、服務(wù)理念，以刻蝕機(jī)為突破口，通過(guò)工藝引導(dǎo)設(shè)備開(kāi)發(fā)，廣泛與LED芯片生產(chǎn)廠商合作，最終成為高效LED工藝研究及成套設(shè)備解決方案的提供商。