AIXTRON G4 系統(tǒng) 更新令璨圓產能提高一倍
2007-12-05
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來源：中國半導體照明網譯
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摘要： 2007年12月4日，AIXTRON宣布獲得璨圓光電幾臺AIX 2800G4 MOCVD的訂單。璨圓還訂購了良品率提升包(Yield+ package)來為現(xiàn)有的系統(tǒng)升級。訂購加升級的結合將使璨圓的高性能GaN外延片、芯片及超高亮LED芯片相關產品的制造能力提高一倍。
2007年12月4日，AIXTRON宣布獲得璨圓光電幾臺AIX 2800G4 MOCVD的訂單。璨圓還訂購了良品率提升包(Yield+ package)來為現(xiàn)有的系統(tǒng)升級。訂購加升級的結合將使璨圓的高性能GaN外延片、芯片及超高亮LED芯片相關產品的制造能力提高一倍。
璨圓對AIXTRON系統(tǒng)的性能非常滿意，而使用新Yield+ package甚至還能提高產出。因此當璨圓計劃再訂購已含Yield+ package的新G4系統(tǒng)時，同時還將現(xiàn)有的反應室升級到相同處理性能。
Yield+ package以改善的耐用性和再現(xiàn)性為特性，這些特征確保了更高的產出、良品率以衣更低的成本/晶片(更高的LED性能)。由于擁有有效的冷卻進氣口(可將預反應降到最小)及三氣體噴射器(可提供放大的一系列調整參數(shù))，Yield+ package可提供更好的波長一致性調整。（編輯：PCL）
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