藍(lán)寶石表面處理對氮化鎵光學(xué)性質(zhì)的影響
上傳人:彭冬生,馮玉春等; 上傳時間: 2011-07-26 瀏覽次數(shù): 262 |
作者 | 彭冬生,馮玉春,劉文,劉毅,牛憨笨 |
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單位 | 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所;深圳大學(xué)光電子學(xué)研究所;深圳大學(xué)師范學(xué)院 |
分類號 | TN304 |
發(fā)表刊物 | 《光子學(xué)報》 |
發(fā)布時間 | 2008年 |
引言
近10多年來,GaN基寬帶隙半導(dǎo)體由于在科學(xué)研究和實際應(yīng)用方面的重要意義而受到了廣泛的重視,成為當(dāng)前半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域國際性的研究熱點,特別是近幾年藍(lán)色發(fā)光二極管、藍(lán)色激光器及紫外探測器等光電器件的發(fā)展,顯示出了GaN基材料巨大的應(yīng)用潛力[1-3].合適的襯底材料對……
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