據了解，隨著紫外LED和Mini/Micro LED等新興產業(yè)如火如荼地發(fā)展，近兩年來，國內外相關大企紛紛加購重要的MOCVD設備，很大程度推動了MOCVD設備的發(fā)展并刺激了市場需求。

4月16日晚間，MOCVD設備制造商中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）公布了亮眼的2019年成績單。報告期內，該公司已開發(fā)出用于深紫外LED生長的高溫MOCVD設備，并且正在開發(fā)用于Mini/Micro LED的新型MOCVD設備。

中微公司主要從事高端半導體設備的研發(fā)、生產和銷售，主要為集成電路、LED芯片、MEMS等半導體產品的制造企業(yè)提供刻蝕設備、MOCVD設備及其他設備。其中，MOCVD設備主要應用于藍綠光及紫外LED外延片和功率器件的生產，目前已在行業(yè)領先客戶的生產線上大規(guī)模投入量產。

報告期內，中微公司實現(xiàn)營收19.47億元，同比增長18.77%；實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤1.89億元，同比增長107.51%。

值得注意的是，中微公司去年完成開發(fā)適用于深紫外LED生長的高溫MOCVD設備，可承載18片2寸外延片，主要應用于深紫外LED、紫外殺菌、工業(yè)水凈化等領域。

中微公司指出，MOCVD設備采購金額一般占LED生產線總投入的一半以上，是LED外延片制造中最重要的設備。目前MOCVD設備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導體材料外延生長，其中氮化鎵基LED MOCVD主要用于生產氮化鎵基LED的外延片。

除用于制造通用照明和背光顯示的藍光LED，MOCVD設備還可制造應用于高端顯示的Mini LED和Micro LED、用于殺菌消毒和空氣凈化的紫外LED、應用于電力電子的功率器件，隨著這些新興領域的應用拓展及逐步推廣，氮化鎵基MOCVD設備的市場規(guī)模有望進一步擴大。

報告顯示，中微公司的MOCVD設備已在全球氮化鎵基LED設備市場中占據領先地位。其中，用于制造深紫外光LED的MOCVD設備已在行業(yè)領先客戶端驗證成功。同時，用于Mini LED生產的MOCVD設備的研發(fā)工作正在有序進行中，并計劃推動相關驗證。此外，制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設備也在開發(fā)中。