2011年6月11日，“亞洲LED照明高峰論壇 -- 外延芯片技術與工藝和外延設備和材料”專題分會在廣州琶洲展館B區(qū)8號會議廳南廳舉行。來自北方微電子LED事業(yè)部的副總經理劉利堅發(fā)表了《大規(guī)模LED芯片量產工藝設備的發(fā)展與挑戰(zhàn)》的專題演講。

　　首先劉經理簡單介紹了北方微電子LED設備產品的概況，其中ICP系列產品已經成為了眾多廠家的首選刻蝕設備，更加強調了ELEDETM330設備的領先優(yōu)勢——大產能設計與優(yōu)異的工藝性能。

　　接著，劉經理重點講解了北方微電子一個非常重要的增值部分——工藝控制系統(tǒng)APC電子軟件。當前，在LED量產過程中存在的問題之一就是最終產量出現(xiàn)不合格品。而諸多廠家對此的解決方法就是對各個工序和重點設備進行費時費力的逐一排查。為達到控制最終產品質量能滿足要求這一目的，北方微電子開發(fā)了APC軟件。

　　APC軟件主要包括三大功能模塊，并據(jù)此建立自動預警機制：

　　1、 數(shù)據(jù)管理。對單臺/多臺設備的生產過程進行數(shù)據(jù)實時采集、顯示、存儲、導入導出和歷史數(shù)據(jù)查詢的功能;

　　2、 統(tǒng)計控制。統(tǒng)計過程監(jiān)控(當值與數(shù)據(jù)的共同監(jiān)測，更利于發(fā)現(xiàn)異常、及時預警)，離線質量分析，匯總統(tǒng)計報表(使數(shù)據(jù)可視化);

　　3、 故障診斷?？刂颇Ｐ凸芾?根據(jù)不同的標準值做出模型進行變量分析)，在線故障分析，離線故障分析，故障信息報表。

　　APC軟件的其他特點還包括：可據(jù)不同支持、設備設置靈活的系統(tǒng)架構;可定制對外數(shù)據(jù)接口;可內嵌進生產設備，如設備ELEDETM330。